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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

真空ハンドブック　

著者名 アルバック／編
出版者 オーム社
出版年月 ２００２．７

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No. 所蔵館 資料種別 資料番号 請求記号 配架場所 帯出区分 状態
1 中央図書館一般0114222201R534.93//３階禁帯出在庫 

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書誌詳細

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書誌種別 図書　一般
著者名 アルバック／編
著者名ヨミ アルバック
版 新版
出版者 オーム社
出版年月 ２００２．７
ページ数 ３３１ｐ
大きさ ２７ｃｍ
分類記号 534.93
内容紹介 半導体製造、成膜、分析等に係る真空装置の構築・設計の現場で必要となる分野を中心に編集する。超微粒子、カーボンナノチューブの節を新しく設け、日本工業規格の改訂等に対応した９２年刊の新版。
書名 真空ハンドブック　
書名ヨミ シンクウ　ハンドブック
件名1 真空技術－便覧
言語区分 日本語
累積注記 付：表（４枚）



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